ERS представляет Wave3000, государственный

МЮНХЕН, 30 мая 2023 г. /PRNewswire/ -- Компания ERS Electronic, лидер отрасли на рынке решений по управлению температурным режимом для производства полупроводников, разработала первое в своем роде оборудование для метрологии и анализа деформированных пластин. Благодаря передовой методологии оптического сканирования Wave3000 может точно измерять деформации пластин в определенных положениях обработки, что обеспечивает всесторонний и точный анализ коробления пластин, что имеет решающее значение для обеспечения качества устройств усовершенствованной упаковки.

«С ростом внедрения передовых технологий упаковки мы видим, что коробление становится все более сложной проблемой в производстве полупроводников», — говорит Лоран Джай-Миниет, генеральный директор ERS Electronic. «Это может быть вызвано множеством факторов, в том числе различиями в свойствах материала, колебаниями температуры и стрессом во время транспортировки и обработки. Деформированные пластины могут вызывать не только технологические проблемы, но и производственные проблемы, приводящие к дефектам и снижению выхода продукции».

Чтобы решить эту проблему, ERS разработала Wave3000, машину, которая может измерять и анализировать деформированные пластины размером от 200 до 300 мм с беспрецедентной точностью менее чем за минуту. Сканер позволяет системе измерять различные поверхности и материалы пластин, включая кремний, пресс-форму и другие. Его уникальная запатентованная методология измерения обеспечивает гибкость, позволяя проводить измерения на разных платформах, например, на штифтах или на концевом эффекторе.

После измерения Wave3000 создает интерактивное трехмерное изображение пластины, что позволяет лучше понять поведение коробления. Трехмерное изображение можно вращать и масштабировать, что позволяет пользователям просматривать профиль коробления под любым углом и оценивать его влияние на процесс производства пластин.

«Наше новое оборудование обеспечивает высокий уровень гибкости и точности и может измерять коробление, изгиб и толщину пластин, которые являются критическими характеристиками пластин, позволяющими избежать потери выхода или поломки пластин», — говорит Дебби-Клэр Санчес, менеджер подразделения оборудования для разветвления в компании. ЭРС электронный. «Усовершенствованное программное обеспечение Wave3000 создает точную трехмерную карту поверхности пластины, поэтому пользователь может анализировать влияние деформации на производительность пластины и принимать обоснованные решения о том, как оптимизировать этапы процесса для достижения лучших результатов».

Это нововведение расширяет портфолио компании по автоматическому, полуавтоматическому и ручному оборудованию для термического раскрепления и регулирования коробления для упаковки на уровне пластины с разветвлением. Wave3000 ориентирован на очень большой и растущий рынок производителей полупроводников, OSAT и исследовательских институтов, работающих с передовыми технологиями упаковки.

Wave3000 уже доступен для покупки.

О ЭРС:

ERS Electronic GmbH уже более 50 лет предоставляет инновационные решения для термических испытаний для полупроводниковой промышленности. Компания завоевала выдающуюся репутацию благодаря своим быстрым и точным системам термопатронов с воздушным охлаждением для зондирования пластин, а также своим инструментам термического отделения и регулировки коробления для FOWLP/PLP.

www.ers-gmbh.com

Посмотреть исходный контент: https://www.prnewswire.com/apac/news-releases/ers-introduces-wave3000-a-state-of-the-art-warpage-metrology-tool-for-advanced-packaging-wafers- 301837361.html

ИСТОЧНИК ERS Electronic GmbH